在真空泵使用過程中，由于愛德華真空泵油70#直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強，又可向真空系統返流擴散，污染真空系統，并直接影響極限真空的獲得。因此，真空泵應盡量避免抽除溶劑，水蒸氣和有腐蝕性氣體等，必須用時須勤檢查、勤換油。換油時應將泵體內使用過的油品排盡，將新油倒入后緩緩轉動泵軸，清掃泵腔排盡殘油，重復清洗數次，等洗凈后換入新油。