真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。

　　真空泵油由于要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

　　真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。

　　真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。

　　真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。

　　主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。

　　極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

　　真空泵油應用在工業上的一些要求：

　　快速達到極限直空也是一些特定應用場合提出的要求，一般通過抽氣速率和可靠性來衡量這一使用性能。流水線上使用的真空泵油一般要求比較苛刻，因它受達到真空的速度、使用壽命、使用環境、使用氣體、高溫高壓、頻繁大氣狀態等不可知因素的影響太大，為此使用ISO、DVE、DVF的真空油品比較合適。運動粘度應選擇在VG32、46、68范圍。

　　如彩管行業中顯象管蒸鋁小車流水線運行一圈共為5分鐘。從裝顯像管到直聯式旋片泵抽真空1分鐘內全壓力必須達到＜5*10-4kPa；再直接啟動高真空擴散泵至10-2-10-3Pa后開始蒸發鍍鋁；結束后再卸顯像管；周而復始。每一環節如不能達到相應指標就會影響下一道工序。

　　直聯式真空泵全壓力進入5*10-4kPa一般是能夠做到的，但在1分鐘要達到指標，就需對真空泵及真空泵油品的抽氣速率和可靠性會提出更高的要求。