WAU2001萊寶羅茨真空泵性能源于其精密設(shè)計的多個核心功能模塊
點擊次數(shù)：277 更新時間：2026-01-08
WAU2001萊寶羅茨真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、鍍膜、分析儀器、真空干燥及科研領(lǐng)域，作為中高真空系統(tǒng)的增壓級或主抽泵，可與旋片泵、干泵等前級泵組合，實現(xiàn)從大氣壓至10-3mbar量級的高效抽氣。其以高抽速（2000m3/h）、低振動、長壽命和優(yōu)異的工藝兼容性著稱。
WAU2001萊寶羅茨真空泵性能源于其精密設(shè)計的多個核心功能模塊。
一、羅茨轉(zhuǎn)子系統(tǒng)
采用一對精密動平衡的8字形同步轉(zhuǎn)子，間隙控制在微米級，實現(xiàn)無接觸運轉(zhuǎn)，避免摩擦磨損；
轉(zhuǎn)子表面經(jīng)特殊涂層處理（如DLC類金剛石碳膜），增強耐腐蝕性，適用于含弱腐蝕性工藝氣體環(huán)境；
高速旋轉(zhuǎn)（通常1500–3000rpm）形成強制輸送效應(yīng)，大幅提升中真空區(qū)（10–1033mbar）抽速。
二、同步齒輪與軸承組件
高精度斜齒輪確保兩轉(zhuǎn)子嚴格同步反向旋轉(zhuǎn)，傳動平穩(wěn)、噪音低（典型＜75dB）；
軸承置于泵腔外部油腔內(nèi)，通過獨立潤滑系統(tǒng)供油，隔離工藝氣體，延長壽命；
采用雙列角接觸軸承，可承受軸向與徑向復(fù)合載荷，保障高速運轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。
三、冷卻與溫控系統(tǒng)
泵體集成水冷或風(fēng)冷通道，有效導(dǎo)出壓縮熱，防止過熱導(dǎo)致密封失效或材料變形；
可選配溫度傳感器與自動保護模塊，當(dāng)殼體溫度＞90℃時觸發(fā)報警或停機；
冷卻水接頭采用快插式不銹鋼接口，防漏耐用，適配工業(yè)循環(huán)水系統(tǒng)。
四、密封與排氣結(jié)構(gòu)
軸封采用雙端面機械密封或磁流體密封（可選），杜絕潤滑油滲入泵腔，滿足潔凈工藝要求；
排氣口配備消音器與油氣分離器（若配油潤滑），降低噪音并防止油霧外排；
所有通氣流道經(jīng)流體仿真優(yōu)化，減少湍流與返流，提升極限真空與抽氣效率。
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